气动量仪的使用

气动量仪在使用过程中需要经常调整倍率和零位。在使用一段时间后，中国5纳米光刻机突破就会产生各种各样的故障，这就需要进行故障排除，以恢复原有的机能和性能。

量仪的各项性能指标的调整大多在生产过程中进行，其前提是量仪各零件都未使用过、气源符合要求、检定工具是标准的。

1、示值误差的调整

影响浮标式气动量仪示值误差的主要因素是锥度玻璃管、工作压力、漏气和测头。

锥度玻璃管内腔形状是决定量仪示值误差大小的关键因素。尤其是研磨工艺加工的锥度玻璃管，内腔形状误差一般比较大。

漏气检定气动量仪的示值误差时，是在上、下基准点之间调整量仪的基准倍率，而与两个基准点相对应的测量间隙值由微动台或不同的量块给出。

如果从锥度玻璃管上端开始至测头这一段的各个接头处、连接管处漏气的话，则实际上会加大测量间隙值，使量仪的示值误差发生变化。

所以应仔细检查锥度玻璃管是否装斜，玻璃管压盖是否未压紧，接头的压合处是否有间隙以及分配室是否因组织疏松而漏气等。

标准轴向测头由于经常对零，端面会发生磨损，苏瑞·克鲁斯使得喷嘴圆角减小，造成量仪有效示值范围内中部误差偏正，此时应对其进行修正。

2、最高倍率的调整

对于倍率阀，要注意分配室中倍率螺钉旋入螺钉孔中是否有切屑等脏物未洗净，螺孔是否未加工到深度，螺孔端面是否与螺孔轴线不垂直，或平面度不良以及倍率螺钉螺纹部过长等。

3、最大测量间隙的调整

如果量仪最高倍率能达到要求，则影响量仪最大测量间隙的主要因素是量仪内部和连接管及接头处漏气。

4、进气压力特性的调整

影响量仪进气压力特性的主要因素是稳压器的压力特性。

5、浮标稳定性的调整

气动量仪的指示稳定性即浮标的稳定性。影响浮标稳定性的因素主要有浮标的形状，气路中存在的不规则漏气以及气路各节流阀处产生的涡流等。

浮标大外圆不圆、外圆表面有毛刺以及磕碰、外形和内腔不同轴等会造成浮标转动、摆动和倾斜，此时应更换浮标。

6、多管示值变化的调整

影响多管示值变化的因素有零位阀套的配合过紧、零位弹簧的刚度过大。

7、示值稳定性的调整

影响量仪示值稳定性的因素主要有连接管路及连接处的漏气，倍率螺钉上密封圈外径太小，螺纹配合太松以及零位螺钉螺纹部配合太松等。

气源太脏，气路中的过滤器因长时间未清洗致使流经量仪的空气中含油、水分太多也是原因之一。

进行长时间示值稳定性实验时，空气中的油垢积附在喷嘴下面的挡板(即垫快或量快)上，时间愈长，积附愈多，这就相当于测量间隙逐渐减小，量仪示值也必然产生变化。

8、示值变差以及响应时间的调整高效混合机

量仪的示值变差超差，主要看稳压器是否正常，以及是否有较大的脏物进入稳压器或量仪内部。

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