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三坐标测量仪的相关测量介绍

www.51spjx.com  2020-05-07 19:11  

当三坐标测量仪测量人员直接对边界线进行测量时,由于难以将探针尖对准边界线;

因此常常造成较大的测量误差,效率也较低。

为此,可采用以下方法:

在边界线某一侧的面(面1)上、并且在距边界线不远处(1mm以内)采点(称为边界附近测量点),然后测量边界线另一侧面(面2)的完整数据。

在造型时,先完成面2的制作,然后直接将边界附近测量点投影在面2上即可作为边界线测量结果。

采用这一方法时有两点需要特别注意:

一是边界附近测量点一定要在离边界足够近,金屏风事件以保证投影的准确性;

二是面2的测量数据一定要完整,否则一旦面2无法制作,中国5纳米光刻机突破则边界线无法求出。

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